硅片倒角機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械加工裝置，具體涉及一種用于硅片加工的倒角機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅是一種很典型的半導(dǎo)體材料，其在地球表面的含量僅次于氧，被廣泛應(yīng)用與二極管、三極管、晶閘管、場(chǎng)效應(yīng)管和各種集成電路，航空航天，光導(dǎo)纖維等多種領(lǐng)域中，是非常重要的材料。在硅片的加工過程中，從硅晶錠切成硅片后，如果直接進(jìn)行磨片，容易產(chǎn)生崩邊，從而引起硅片報(bào)廢，因此在磨片之前需要對(duì)硅片進(jìn)行倒角。目前的技術(shù)是通過人工對(duì)崩邊的硅片進(jìn)行修磨，勞力投入大，產(chǎn)量小，產(chǎn)品合格率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型涉及一種硅片倒角機(jī)，解決上述，勞力投入大，產(chǎn)量小，產(chǎn)品合格率低的問題。
[0004]本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案來解決上述問題:
[0005]硅片倒角機(jī)，包括機(jī)架、機(jī)箱、刀架、刀具、硅片固定盤、皮帶機(jī)、電機(jī)，所述機(jī)箱置于機(jī)架上，所述機(jī)箱一側(cè)設(shè)有電控柜，所述電控柜上帶有控制面板，所述機(jī)箱另一側(cè)設(shè)有總開關(guān)，所述刀架固定在機(jī)箱內(nèi)，所述刀具固定在刀架上，所述機(jī)箱中上部設(shè)有工件箱，所述工件箱上帶有進(jìn)水口和出水口，所述硅片固定盤固定在工件箱上，所述硅片固定盤與皮帶機(jī)相連，所述皮帶機(jī)與電機(jī)相連。
[0006]所述硅片固定盤為真空吸盤。
[0007]所述硅片固定盤下端帶有真空泵接口。
[0008]本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的有益效果為:
[0009]本硅片倒角機(jī)操作簡單方便，減少了勞力投入，硅片固定穩(wěn)定性好，加工速度快，廣品合格率尚。
【附圖說明】
[0010]圖1所示為硅片倒角機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]其中，1-機(jī)架，2-機(jī)箱，3-電控柜，4-總開關(guān)，5-刀架，6-刀具，7-硅片固定盤，8-真空泵接口，9-工件箱，10-進(jìn)水口，11-出水口，12-皮帶機(jī)，13-電機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0012]硅片倒角機(jī)，包括機(jī)架1、機(jī)箱2、刀架5、刀具6、硅片固定盤7、皮帶機(jī)12、電機(jī)13，所述機(jī)箱2置于機(jī)架I上，所述機(jī)箱2 —側(cè)設(shè)有電控柜3，所述電控柜3上帶有控制面板，所述機(jī)箱2另一側(cè)設(shè)有總開關(guān)4，所述刀架5固定在機(jī)箱2內(nèi)，所述刀具6固定在刀架5上，所述機(jī)箱2中上部設(shè)有工件箱9，所述工件箱9上帶有進(jìn)水口 10和出水口 11，所述硅片固定盤7固定在工件箱9上，所述娃片固定盤7與皮帶機(jī)12相連，所述皮帶機(jī)12與電機(jī)13相連。所述硅片固定盤7為真空吸盤。所述硅片固定盤7下端帶有真空泵接口 8。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.硅片倒角機(jī)，其特征在于，包括機(jī)架(I)、機(jī)箱(2)、刀架(5)、刀具(6)、硅片固定盤(7)、皮帶機(jī)(12)、電機(jī)(13)，所述機(jī)箱(2)置于機(jī)架(I)上，所述機(jī)箱(2) —側(cè)設(shè)有電控柜(3)，所述電控柜(3)上帶有控制面板，所述機(jī)箱(2)另一側(cè)設(shè)有總開關(guān)(4)，所述刀架(5)固定在機(jī)箱(2)內(nèi)，所述刀具(6)固定在刀架(5)上，所述機(jī)箱(2)中上部設(shè)有工件箱(9)，所述工件箱(9)上帶有進(jìn)水口(10)和出水口(11)，所述硅片固定盤(7)固定在工件箱(9)上，所述硅片固定盤⑵與皮帶機(jī)(12)相連，所述皮帶機(jī)(12)與電機(jī)(13)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片倒角機(jī)，其特征在于，所述硅片固定盤(7)為真空吸盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片倒角機(jī)，其特征在于，所述硅片固定盤(7)下端帶有真空泵接口 (8) ο
【專利摘要】硅片倒角機(jī)，包括機(jī)架、機(jī)箱、刀架、刀具、硅片固定盤、皮帶機(jī)、電機(jī)，所述機(jī)箱置于機(jī)架上，所述機(jī)箱一側(cè)設(shè)有電控柜，所述電控柜上帶有控制面板，所述機(jī)箱另一側(cè)設(shè)有總開關(guān)，所述刀架固定在機(jī)箱內(nèi)，所述刀具固定在刀架上，所述機(jī)箱中上部設(shè)有工件箱，所述工件箱上帶有進(jìn)水口和出水口，所述硅片固定盤固定在工件箱上，所述硅片固定盤與皮帶機(jī)相連，所述皮帶機(jī)與電機(jī)相連。所述硅片固定盤為真空吸盤。所述硅片固定盤下端帶有真空泵接口。本硅片倒角機(jī)操作簡單方便，減少了勞力投入，硅片固定穩(wěn)定性好，加工速度快，產(chǎn)品合格率高。
【IPC分類】B26D7-02, B26D3-00
【公開號(hào)】CN204525599
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520179507
【發(fā)明人】張步曉, 張寧, 李政
【申請(qǐng)人】天津市兆益金科科技有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年3月27日