硅片倒角機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械加工裝置,具體涉及一種用于硅片加工的倒角機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅是一種很典型的半導(dǎo)體材料,其在地球表面的含量僅次于氧,被廣泛應(yīng)用與二極管、三極管、晶閘管、場(chǎng)效應(yīng)管和各種集成電路,航空航天,光導(dǎo)纖維等多種領(lǐng)域中,是非常重要的材料。在硅片的加工過程中,從硅晶錠切成硅片后,如果直接進(jìn)行磨片,容易產(chǎn)生崩邊,從而引起硅片報(bào)廢,因此在磨片之前需要對(duì)硅片進(jìn)行倒角。目前的技術(shù)是通過人工對(duì)崩邊的硅片進(jìn)行修磨,勞力投入大,產(chǎn)量小,產(chǎn)品合格率低。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型涉及一種硅片倒角機(jī),解決上述,勞力投入大,產(chǎn)量小,產(chǎn)品合格率低的問題。
[0004]本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案來解決上述問題:
[0005]硅片倒角機(jī),包括機(jī)架、機(jī)箱、刀架、刀具、硅片固定盤、皮帶機(jī)、電機(jī),所述機(jī)箱置于機(jī)架上,所述機(jī)箱一側(cè)設(shè)有電控柜,所述電控柜上帶有控制面板,所述機(jī)箱另一側(cè)設(shè)有總開關(guān),所述刀架固定在機(jī)箱內(nèi),所述刀具固定在刀架上,所述機(jī)箱中上部設(shè)有工件箱,所述工件箱上帶有進(jìn)水口和出水口,所述硅片固定盤固定在工件箱上,所述硅片固定盤與皮帶機(jī)相連,所述皮帶機(jī)與電機(jī)相連。
[0006]所述硅片固定盤為真空吸盤。
[0007]所述硅片固定盤下端帶有真空泵接口。
[0008]本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的有益效果為:
[0009]本硅片倒角機(jī)操作簡單方便,減少了勞力投入,硅片固定穩(wěn)定性好,加工速度快,廣品合格率尚。
【附圖說明】
[0010]圖1所示為硅片倒角機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]其中,1-機(jī)架,2-機(jī)箱,3-電控柜,4-總開關(guān),5-刀架,6-刀具,7-硅片固定盤,8-真空泵接口,9-工件箱,10-進(jìn)水口,11-出水口,12-皮帶機(jī),13-電機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0012]硅片倒角機(jī),包括機(jī)架1、機(jī)箱2、刀架5、刀具6、硅片固定盤7、皮帶機(jī)12、電機(jī)13,所述機(jī)箱2置于機(jī)架I上,所述機(jī)箱2 —側(cè)設(shè)有電控柜3,所述電控柜3上帶有控制面板,所述機(jī)箱2另一側(cè)設(shè)有總開關(guān)4,所述刀架5固定在機(jī)箱2內(nèi),所述刀具6固定在刀架5上,所述機(jī)箱2中上部設(shè)有工件箱9,所述工件箱9上帶有進(jìn)水口 10和出水口 11,所述硅片固定盤7固定在工件箱9上,所述娃片固定盤7與皮帶機(jī)12相連,所述皮帶機(jī)12與電機(jī)13相連。所述硅片固定盤7為真空吸盤。所述硅片固定盤7下端帶有真空泵接口 8。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.硅片倒角機(jī),其特征在于,包括機(jī)架(I)、機(jī)箱(2)、刀架(5)、刀具(6)、硅片固定盤(7)、皮帶機(jī)(12)、電機(jī)(13),所述機(jī)箱(2)置于機(jī)架(I)上,所述機(jī)箱(2) —側(cè)設(shè)有電控柜(3),所述電控柜(3)上帶有控制面板,所述機(jī)箱(2)另一側(cè)設(shè)有總開關(guān)(4),所述刀架(5)固定在機(jī)箱(2)內(nèi),所述刀具(6)固定在刀架(5)上,所述機(jī)箱(2)中上部設(shè)有工件箱(9),所述工件箱(9)上帶有進(jìn)水口(10)和出水口(11),所述硅片固定盤(7)固定在工件箱(9)上,所述硅片固定盤⑵與皮帶機(jī)(12)相連,所述皮帶機(jī)(12)與電機(jī)(13)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片倒角機(jī),其特征在于,所述硅片固定盤(7)為真空吸盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片倒角機(jī),其特征在于,所述硅片固定盤(7)下端帶有真空泵接口 (8) ο
【專利摘要】硅片倒角機(jī),包括機(jī)架、機(jī)箱、刀架、刀具、硅片固定盤、皮帶機(jī)、電機(jī),所述機(jī)箱置于機(jī)架上,所述機(jī)箱一側(cè)設(shè)有電控柜,所述電控柜上帶有控制面板,所述機(jī)箱另一側(cè)設(shè)有總開關(guān),所述刀架固定在機(jī)箱內(nèi),所述刀具固定在刀架上,所述機(jī)箱中上部設(shè)有工件箱,所述工件箱上帶有進(jìn)水口和出水口,所述硅片固定盤固定在工件箱上,所述硅片固定盤與皮帶機(jī)相連,所述皮帶機(jī)與電機(jī)相連。所述硅片固定盤為真空吸盤。所述硅片固定盤下端帶有真空泵接口。本硅片倒角機(jī)操作簡單方便,減少了勞力投入,硅片固定穩(wěn)定性好,加工速度快,產(chǎn)品合格率高。
【IPC分類】B26D7-02, B26D3-00
【公開號(hào)】CN204525599
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520179507
【發(fā)明人】張步曉, 張寧, 李政
【申請(qǐng)人】天津市兆益金科科技有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年3月27日