專利名稱：一種高精度同步雙碼盤細分采樣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體真空機器手同步位置控制裝置同步兩路碼盤采樣高精度細分
電路，具體地說是一種為真空機器手控制器提供兩路同步采樣的高精度位置檢測硬件電路，即高精度同步雙碼盤細分采樣裝置。該電路從硬件角度提供一種同步采樣機制來提高通過同步位置控制裝置調(diào)節(jié)后的執(zhí)行機構(gòu)的同步效果，同時通過硬件電路的細分以提高系統(tǒng)的控制精度和運行的平穩(wěn)性。
背景技術(shù)：
在真空機器手是IC裝備當(dāng)中的重要功能部件，蛙手連桿機構(gòu)是在真空機械手中普遍采用的一種機械結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)屬于一種并聯(lián)機構(gòu)，具有剛度大、承載能力強、位置精度高、響應(yīng)快等優(yōu)點；并聯(lián)機構(gòu)使該類型的傳輸機械手的效率得到很大提高。同時由于這類機構(gòu)的運動學(xué)和動力學(xué)求解問題比較復(fù)雜，并且由于系統(tǒng)的要求具有較高的同步輸出能力和較好的動態(tài)性能，以保證系統(tǒng)的精度和運行的平穩(wěn)性。因此同步效果是提高該并聯(lián)機構(gòu)系統(tǒng)中保障系統(tǒng)精度的亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述所存在的系統(tǒng)精度的不足，本發(fā)明的目的是提供一種高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，從硬件同步采樣與碼盤細分機制著手，為控制系統(tǒng)提供了必要的硬件基礎(chǔ)，提高了機械手的運行的平穩(wěn)性和位置控制精度。 為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案包括 模擬碼盤接口模塊，所述模擬碼盤接口模塊輸入端與碼盤連接，接收碼盤索引信
號及正余弦信號，輸出碼盤方波信號及放大了的碼盤正余弦信號； 分壓模塊，所述分壓模塊接收模擬碼盤接口模塊所產(chǎn)生的碼盤方波信號，對碼盤方波信號進行分壓處理； 細分采集模塊，所述細分采集模塊接收模擬碼盤接口模塊所產(chǎn)生的放大了的碼盤
正余弦信號，通過模擬量至數(shù)字量的轉(zhuǎn)換實現(xiàn)碼盤正余弦信號精度的細分； 同步采集處理模塊，所述同步采集處理模塊接收分壓后的碼盤正余弦方波信號，
通過并行數(shù)據(jù)總線、控制總線與細分采集模塊通訊，并通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總線接
口與外部電路相連； 電源模塊，所述電源模塊與模擬碼盤接口模塊、細分采集模塊、同步采樣處理模塊相連，為其提供工作電源，同時為細分采集模塊提供參考電壓； 所述模擬碼盤接口模塊分為第一模擬碼盤接口模塊，第二模擬碼盤接口模塊結(jié)構(gòu)相同的兩個模塊，每個模塊包括兩組差分比例線性放大電路和滯回電路，每組差分比例線性放大電路由兩個運算放大器構(gòu)成，每組滯回電路由運算放大器及跨接于該運算放大器的輸入、出端的電阻構(gòu)成；其中第一組差分比例線性放大電路輸入端并行連接兩個碼盤的正余弦差分信號輸出端，輸出端為線性放大后的碼盤正余弦差分信號；第一組滯回電路接收線性放大處理后的信號，輸出為連續(xù)的方波；第二組差分比例線性放大電路輸入端接碼
盤的索引信號輸出端，輸出端為線性放大后的碼盤的索引信號；第二組滯回電路以線性放
大處理后的索引信號為輸入信號，輸出為連續(xù)的方波，經(jīng)撥碼開關(guān)至光電隔離器； 每個模塊輸出分兩路，一路第一組差分比例線性放大電路輸出放大了的碼盤正
余弦信號至細分采樣模塊，另一路第一組滯回電路將碼盤正余弦信號變?yōu)榉讲ê蠼庸怆?br> 隔離器，再與第二組經(jīng)光電隔離后的方波信號一起至分壓模塊； 所述分壓模塊為六組兩兩串聯(lián)的電阻結(jié)構(gòu)，每組電組的一端接來自模擬碼盤接口模塊輸出端放大了的碼盤正余弦信號，另一端接地，中間節(jié)點的分壓后的碼盤方波信號與同步采樣處理模塊相連； 所述細分采集模塊包括第十三 十六運算放大器，A/D采樣電路，其中A/D采樣電路經(jīng)第十三 十六運算放大器接收模擬碼盤接口模塊的差分放大信號(即放大了的碼盤正余弦信號)，實現(xiàn)電壓跟隨，并通過同步采集處理模塊中可編程門陣列觸發(fā)A/D采樣電路，將來自模擬碼盤接口模塊輸出的碼盤正余弦信號進行采樣保持在A/D采樣電路里，再由同步采集處理模塊中可編程門陣列依次啟動A/D采樣電路對模擬碼盤接口模塊輸出碼盤正余弦兩路信號轉(zhuǎn)換；并通過并行數(shù)據(jù)總線及控制端與同步采樣處理模塊通訊，接收同步采樣處理控制信號； 所述A/D采樣電路的時鐘端接跳線開關(guān)，用于外部時鐘選擇；所述同步采集處理模
塊包括配接有時鐘的可編程門陣列，可編程門陣列通過并行數(shù)據(jù)總線、控制總線與細分采集
模塊通訊，通過計數(shù)端與分壓模塊相連，并通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總線接口與外部電路
相連；所述同步采集處理模塊接有調(diào)試用可編程門陣列編程接口 ；所述電源模塊包括雙輸出
穩(wěn)壓隔離電路，參考電壓產(chǎn)生電路，濾波電路，及抗干擾電路，其中雙輸出穩(wěn)壓隔離電路輸入
端接5V，并通過外部電源接口接電源，輸出端經(jīng)由電感、電容組成的抗干擾電路與模擬碼盤
接口模塊、細分采集模塊、同步采樣處理模塊以及參考電壓產(chǎn)生電路相連；所述參考電壓產(chǎn)
生電路經(jīng)濾波電路輸出接細分采集模塊中A/D采樣電路，作為其采樣基準電壓。 總之，本發(fā)明從硬件角度為控制系統(tǒng)提供一種同步采樣機制，同時通過硬件細分
電路來提高位置檢測精度，從硬件層面上為控制系統(tǒng)的性能的提高打下堅實的基礎(chǔ)。 本發(fā)明具有如下有益效果 1.本發(fā)明通過模擬量接口模塊中的差分比例運算放大電路可以調(diào)節(jié)輸入信號的
幅值，使得可以適應(yīng)不同電壓范圍的差分輸入信號，同時采用了一個滯回電路可以在一定
程度上濾除干擾，產(chǎn)生鑒零方波信號，并通過光隔對后面的電路進行保護。 2.本發(fā)明采用高精度A/D采樣電路與可編程門陣列組成鑒向、計數(shù)、同步保持觸
發(fā)，自動轉(zhuǎn)換電路；在確保采樣點的同步性的同時減輕了外部主控器的負擔(dān)，為提高由主控
器控制的真空直驅(qū)型真空手的性能提供了必要的保障。 3.本發(fā)明采用并行總線的方式與外部主控器接口，把細分后的碼盤數(shù)據(jù)提供給外部主控器，使系統(tǒng)的能夠最大限度使用本發(fā)明的效能——在外部主控器允許的情況下隨時進行采樣。


圖1為一種高精度同步雙碼盤細分采樣裝置總體結(jié)構(gòu)圖。
圖2為模擬碼盤接口模塊電路原理圖。 圖3為分壓模塊原理圖。 圖4為電源模塊原理圖。 圖5為細分采樣模塊原理圖。 圖6為同步采集處理模塊原理圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細說明。
如圖1 6所示，本發(fā)明包括 模擬碼盤接口模塊，所述模擬碼盤接口模塊輸入端與碼盤連接，接收碼盤索引信號及正余弦信號，輸出碼盤方波信號及放大了的碼盤正余弦信號； 分壓模塊D3，所述分壓模塊D3接收模擬碼盤接口模塊所產(chǎn)生的碼盤方波信號，對碼盤方波信號進行分壓處理； 細分采集模塊D5，所述細分采集模塊D5接收模擬碼盤接口模塊所產(chǎn)生的放大了的碼盤正余弦信號，通過模擬量至數(shù)字量的轉(zhuǎn)換實現(xiàn)碼盤正余弦信號精度的細分；
同步采集處理模塊D6，所述同步采集處理模塊D6通過并行數(shù)據(jù)總線、控制總線與細分采集模塊通訊，接收分壓后的碼盤正余弦方波信號，并通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總線接口與外部電路相連；并為細分采集模塊提供工作電壓； 電源模塊D4，所述電源模塊D4與模擬碼盤接口模塊、細分采集模塊、同步采樣處理模塊相連，為其提供工作電源，并為細分采集模塊提供參考電壓。 如圖2所示，所述模擬碼盤接口模塊分為第一模擬碼盤接口模塊D1，第二模擬碼盤接口模塊D2兩個模塊，其中第一模擬碼盤接口模塊Dl包括第一 六運算放大器Ul U6，第一、三光電隔離器G1、G3，第一 二運算放大器U1 U2構(gòu)成差分比例線性放大電路，其輸入端分別連接第一碼盤的A、 B兩端(碼盤正余弦信號輸出端)，第一 二運算放大器Ul U2輸出端將碼盤的正余弦差分信號進行線性放大后，分別接至第三 四運算放大器U3 U4，將線性放大處理后的信號變?yōu)檫B續(xù)的方波，然后送至第一光電隔離器G1進行光電隔離；第五運算放大器U5輸入端連接至該第一碼盤的C端(碼盤索引信號端)，第五運算放大器U5輸出端對差分信號進行線性放大后送第六運算放大器U6，第六運算放大器U6輸出端經(jīng)撥開關(guān)碼及第三光電隔離器G3輸出；第一 二運算放大器U1 U2輸出放大了的碼盤正余弦信號，與細分采樣模塊中第十三 十四運算放大器U13 U14的輸入端相連，第一光電隔離器G1的兩個輸出端與第三光電隔離器G3的一個輸出端一起將碼盤方波信號送至分壓模塊。 第二模擬碼盤接口模塊D2包括第七 十二運算放大器U7 U12，第二 三光電隔離器G2 G3，第七 八運算放大器U7 U8構(gòu)成差分比例線性放大電路，其輸入端分別連接第二碼盤的A、 B兩端(碼盤正余弦信號輸出端)，第七 八運算放大器U7 U8輸出端將碼盤的正余弦差分信號進行線性放大后，分別接至九 十運算放大器U9 U10，將線性放大處理后的信號變?yōu)檫B續(xù)的方波，然后送至第二光電隔離器G2輸入端進行光電隔離；第十一運算放大器Ul 1輸入端連接至第二碼盤的C端(碼盤索引信號端)，第十一運算放大器Ul 1輸出端對差分信號進行線性放大后送第十二運算放大器U12，第十二運算放大器U12輸出端經(jīng)撥開關(guān)碼及第二光電隔離器G2輸出；第七 八運算放大器U7 U8輸出放在了的碼 盤正余弦信號，與細分采樣模塊中第十五 十六運算放大器U15 U16的輸入端相連，第一 光電隔離器G2的兩個輸出端與第三光電隔離器G3的一個輸出端一起將第二碼盤方波信號 送至分壓模塊D3。 所述第一模擬碼盤接口模塊D1及第二模擬碼盤接口模塊D2中線性放大電路部 分，即第三 四運算放大器U3 U4及第九 十運算放大器U9 U10的一個輸入端與其 輸出端間跨接電阻構(gòu)成滯回電路，利于方波的形成，并起抗干擾作用； 另外，第一 二運算放大器Ul U2及第七 八運算放大器U7 U8的另一輸入 端與輸出端之間跨接有調(diào)節(jié)用電阻，分別用來調(diào)節(jié)輸入信號的幅值。 如圖1和3所示，所述分壓模塊D3為六組兩兩串聯(lián)的電阻結(jié)構(gòu)，每組電組的一端 接自模擬碼盤接口模塊輸出端(放大了的正余弦信號)，另一端接地，中間節(jié)點為分壓后的 碼盤方波信號，與同步采樣處理模塊中可編程門陣列U18相連。 如圖1和5所示，所述細分采集模塊D5包括第十三 十六運算放大器U13 U16， A/D采樣電路U17，其中A/D采樣電路U17經(jīng)第十三 十六運算放大器U13 U16接收模擬 碼盤接口模塊的差分放大信號(即放大了的正余弦信號)實現(xiàn)電壓跟隨，并通過同步采集 處理模塊D6中可編程門陣列U18觸發(fā)A/D采樣電路U17，在同一時刻，將來自模擬碼盤接 口模塊輸出的碼盤正余弦信號進行采樣保持在A/D采樣電路U17里，再由同步采集處理模 塊D6中可編程門陣列U18依次啟動A/D采樣電路U17對模擬碼盤接口模塊輸出碼盤正余 弦兩路信號轉(zhuǎn)換；并通過并行數(shù)據(jù)總線與同步采樣處理模塊相連，通過控制端與同步采樣 處理模塊通訊，接收同步采樣處理控制信號。 A/D采樣電路U17的時鐘端(clk端)接跳線開關(guān)，用于外部時鐘選擇。
如圖1和6所示，所述同步采集處理模塊D6包括配接有時鐘XI的可編程門陣列 U18，可編程門陣列編程接口 U19，其中所述可編程門陣列U18通過并行數(shù)據(jù)總線、控制總線 與細分采集模塊D5通訊，通過計數(shù)端與分壓模塊相連，并通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總 線接口與外部電路(控制器，如單片機或DSP電路)相連；通過控制器接口為細分采集模塊 D5中A/D采樣電路U17提供3. 3V電源，提供工作電壓； 其中所述細分采集模塊D5中的A/D采樣電路17與同步采集處理模塊D6中的可 編程門陣列用于鑒向、計數(shù)、同步保持觸發(fā)；需要時經(jīng)可編程門陣列編程接口 U19進行程序 改進。 如圖1和4所示，所述電源模塊D4，所述電源模塊D4包括雙輸出穩(wěn)壓隔離電路 U21，參考電壓產(chǎn)生電路U22，濾波電路，抗干擾電路，其中雙輸出穩(wěn)壓隔離電路U21輸入端 經(jīng)電容接5V通過外部電源接口 J10接電源，輸出端經(jīng)由電感、電容組成的抗干擾電路與模 擬碼盤接口模塊、細分采集模塊D5、同步采樣處理模塊D6以及參考電壓產(chǎn)生電路U22相連， 為之提供穩(wěn)定的5V工作電源；所述參考電壓產(chǎn)生電路U22經(jīng)濾波電路輸出2. 5V參考電壓， 接細分采集模塊D5中A/D采樣電路U17，作為其采樣基準電壓。
本發(fā)明具體工作過程及原理為 本發(fā)明裝置是一個碼盤接口組件，工作時輸入與具有正余弦及索引輸出的碼盤相 連，輸出與外部主控器(如CPU)相連。其工作原理為主控器經(jīng)轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總 線與同步采集處理模塊D6相連，通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)、轉(zhuǎn)換控制總線寫入數(shù)據(jù)于同步采集處理模塊D6，啟動同步數(shù)據(jù)采集。同步數(shù)據(jù)采集模塊D6在同一時刻啟動細分采集模塊D5，由細分 采集模塊D5中A/D采樣電路U17將第一 二模擬碼盤接口模塊Dl D2中的差分比例電 路(由第一 二、七 八運算放大器Ul U2、 U7 U8構(gòu)成)的輸出值保持到細分采集模 塊D5中的A/D采樣電路U17當(dāng)中，并依次自動開始進行細分處理，即為兩路碼盤的模擬到 數(shù)字信號的轉(zhuǎn)換，并鎖存到同步采樣處理模塊D6的內(nèi)部寄存器中。同時，同步采樣處理模 塊D6通過對分壓模塊D3處理后形成的碼盤方波信號的邏輯電平狀態(tài)判別第一 二模擬碼 盤接口模塊D1 D2輸出的正余弦波形所在的象限，并對分壓模塊D3處理后形成的碼盤方 波信號進行計數(shù)，并將結(jié)果送到同步采樣處理模塊D6的內(nèi)部寄存器當(dāng)中，當(dāng)兩路轉(zhuǎn)換即細 分處理完成之后，同步采樣處理模塊D6產(chǎn)生中斷信號給主控器。至此，完整的一次細分處 理完成。電源模塊D4負責(zé)所有模塊的供電。 總之，本發(fā)明通過對輸入碼盤正余弦信號的處理，可以將碼盤正余弦的精度進行 10或16細分，由同步采樣處理模塊D6完成對兩路具有正余弦信號接口的碼盤的同步細分 采樣，對于需要同步的并聯(lián)機構(gòu)(如現(xiàn)有技術(shù)中兩個執(zhí)行機構(gòu)所具有的差補運動)而言， 從原理上解決了由于采樣不同步所帶來的控制偏差。對半導(dǎo)體行業(yè)用的真空機械手而言無 疑會改善整個系統(tǒng)的性能。 本實施例所述第一 二模擬碼盤接口模塊D1 D2中的差分比例運算放大的 運算放大器采用0PA4227，與滯回電路相連的運算放大器采用LM393，光電隔離器采用 HCPL-2231，分壓模塊D3中電阻采用高精度電阻。電源模塊D4中雙輸出穩(wěn)壓隔離電路U21 采用IA0505S-2W、參考電壓產(chǎn)生電路U22采用AD780。細分采集模塊D5中A/D采樣電路 U17采用MAX1309。同步采樣處理模塊D6中可編程門陣列U18采用EMP240。
本發(fā)明能完成對標(biāo)準的正余弦碼盤的電子細分，并能同時觸發(fā)保持兩路模擬量 值，然后再依次轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換完成后通過中斷的方式通知主控器(如CPU)，這樣既通過電子細 分提高了碼盤的精度又減少的CPU的占用時間。
8
權(quán)利要求
一種高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于包括模擬碼盤接口模塊，所述模擬碼盤接口模塊輸入端與碼盤連接，接收碼盤索引信號及正余弦信號，輸出碼盤方波信號及放大了的碼盤正余弦信號；分壓模塊(D3)，所述分壓模塊(D3)接收模擬碼盤接口模塊所產(chǎn)生的碼盤方波信號，對碼盤方波信號進行分壓處理；細分采集模塊(D5)，所述細分采集模塊(D5)接收模擬碼盤接口模塊所產(chǎn)生的放大了的碼盤正余弦信號，通過模擬量至數(shù)字量的轉(zhuǎn)換實現(xiàn)碼盤正余弦信號精度的細分；同步采集處理模塊(D6)，所述同步采集處理模塊(D6)接收分壓后的碼盤正余弦方波信號，通過并行數(shù)據(jù)總線、控制總線與細分采集模塊通訊，并通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總線接口與外部電路相連；電源模塊(D4)，所述電源模塊(D4)與模擬碼盤接口模塊、細分采集模塊、同步采樣處理模塊相連，為其提供工作電源，同時為細分采集模塊提供參考電壓。
2. 按權(quán)利要求1所述高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于所述模擬碼盤接口模塊分為第一模擬碼盤接口模塊(Dl)，第二模擬碼盤接口模塊(D2)結(jié)構(gòu)相同的兩個模塊，每個模塊包括兩組差分比例線性放大電路和滯回電路，每組差分比例線性放大電路由兩個運算放大器構(gòu)成，每組滯回電路由運算放大器及跨接于該運算放大器的輸入、出端的電阻構(gòu)成；其中第一組差分比例線性放大電路輸入端并行連接兩個碼盤的正余弦差分信號輸出端，輸出端為線性放大后的碼盤正余弦差分信號；第一組滯回電路接收線性放大處理后的信號，輸出為連續(xù)的方波；第二組差分比例線性放大電路輸入端接碼盤的索引信號輸出端，輸出端為線性放大后的碼盤的索引信號；第二組滯回電路以線性放大處理后的索引信號為輸入信號，輸出為連續(xù)的方波，經(jīng)撥碼開關(guān)至光電隔離器；每個模塊輸出分兩路，一路第一組差分比例線性放大電路輸出放大了的碼盤正余弦信號至細分采樣模塊，另一路第一組滯回電路將碼盤正余弦信號變?yōu)榉讲ê蠼庸怆姼綦x器，再與第二組經(jīng)光電隔離后的方波信號一起至分壓模塊。
3. 按權(quán)利要求l所述高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于所述分壓模塊(D3)為六組兩兩串聯(lián)的電阻結(jié)構(gòu)，每組電組的一端接來自模擬碼盤接口模塊輸出端放大了的碼盤正余弦信號，另一端接地，中間節(jié)點的分壓后的碼盤方波信號與同步采樣處理模塊相連。
4. 按權(quán)利要求1所述高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于所述細分采集模塊(D5)包括第十三 十六運算放大器(U13 U16) ，A/D采樣電路(U17)，其中A/D采樣電路(U17)經(jīng)第十三 十六運算放大器(U13 U16)接收模擬碼盤接口模塊的差分放大信號，實現(xiàn)電壓跟隨；并通過并行數(shù)據(jù)總線及控制端與同步采樣處理模塊通訊，接收同步采樣處理控制信號。
5. 按權(quán)利要求5所述高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于所述A/D采樣電路(U17)的時鐘端接跳線開關(guān)，用于外部時鐘選擇。
6. 按權(quán)利要求1所述高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于所述同步采集處理模塊(D6)包括配接有時鐘(XI)的可編程門陣列(U18)，可編程門陣列(U18)通過并行數(shù)據(jù)總線、控制總線與細分采集模塊(D5)通訊，通過計數(shù)端與分壓模塊相連，并通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總線接口與外部電路相連。
7. 按權(quán)利要求7所述高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于所述同步采集處理模塊(D6)接有調(diào)試用可編程門陣列編程接口 (U19)。
8. 按權(quán)利要求l所述高精度同步雙碼盤細分采樣裝置，其特征在于所述電源模塊(D4)包括雙輸出穩(wěn)壓隔離電路(U21)，參考電壓產(chǎn)生電路(U22)，濾波電路，及抗干擾電路，其中雙輸出穩(wěn)壓隔離電路(U21)輸入端接5V，并通過外部電源接口 (J10)接電源，輸出端經(jīng)由電感、電容組成的抗干擾電路與模擬碼盤接口模塊、細分采集模塊(D5)、同步采樣處理模塊(D6)以及參考電壓產(chǎn)生電路(U22)相連；所述參考電壓產(chǎn)生電路(U22)經(jīng)濾波電路輸出接細分采集模塊(D5)中A/D采樣電路(U17)，作為其采樣基準電壓。
全文摘要
本發(fā)明公開一種為真空機器手控制器提供兩路同步采樣的高精度同步雙碼盤細分采樣裝置。包括模擬碼盤接口模塊，接收碼盤索引信號及正余弦信號，輸出碼盤方波信號及放大了的碼盤正余弦信號；分壓模塊，接收模擬碼盤接口模塊的碼盤方波信號，進行分壓處理；細分采集模塊，接收模擬碼盤接口模塊的放大了的碼盤正余弦信號，通過模擬量至數(shù)字量轉(zhuǎn)換實現(xiàn)碼盤正余弦信號精度的細分；同步采集處理模塊，接收分壓后的碼盤正余弦方波信號，通過總線與細分采集模塊通訊，并通過轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)總線、轉(zhuǎn)換控制總線接口與外部電路相連。采用本發(fā)明能提高通過同步位置控制裝置調(diào)節(jié)后的執(zhí)行機構(gòu)的同步效果，同時提高系統(tǒng)的控制精度和運行的平穩(wěn)性。
文檔編號B25J9/18GK101750994SQ20081022932
公開日2010年6月23日 申請日期2008年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月5日
發(fā)明者褚明杰, 魏輝 申請人:沈陽新松機器人自動化股份有限公司