壓電材料、壓電元件及電子設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及壓電材料、壓電元件及電子設(shè)備。具體提供了一種在寬廣的實(shí)際使用溫度范圍內(nèi)具有令人滿(mǎn)意并且穩(wěn)定的介電常數(shù)和機(jī)械品質(zhì)因子的無(wú)鉛壓電材料。所述壓電材料包括由式(1)表示的鈣鈦礦型金屬氧化物:(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(其中1.00≤a≤1.01,0.125≤x≤0.300,并且0.041≤y≤0.074),Mn和Mg?;谝越饘贋榛A(chǔ)的100重量份的鈣鈦礦型金屬氧化物,Mn的含量為0.12重量份或更多并且0.40重量份或更少?;谝越饘贋榛A(chǔ)的100重量份的鈣鈦礦型金屬氧化物,Mg的含量為0.10重量份或更少(排除0重量份)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】壓電材料、壓電元件及電子設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及壓電材料,特別是無(wú)鉛壓電材料。本發(fā)明還涉及壓電元件、多層壓電元件、液體排出頭、液體排出裝置、超聲馬達(dá)、光學(xué)設(shè)備、振動(dòng)裝置、除塵裝置、圖像采集裝置和電子設(shè)備,每個(gè)均包括所述壓電材料。
【背景技術(shù)】
[0002]通常,壓電材料為ABO3鈣鈦礦型金屬氧化物如鋯鈦酸鉛(以下稱(chēng)為“PZT”)。然而,由于PZT包含作為A位點(diǎn)元素的鉛,因而其對(duì)環(huán)境的影響是有爭(zhēng)議的。因此,需要具有無(wú)鉛鈣鈦礦型金屬氧化物的壓電材料。
[0003]已知鈦酸鋇為具有無(wú)鉛鈣鈦礦型金屬氧化物的壓電材料。此外,為了改進(jìn)壓電材料的特性,開(kāi)發(fā)了其基本組成為鈦酸鋇的材料。日本專(zhuān)利
【發(fā)明者】小山信也, 清水康志, 久保田純, 上林彰, 田中秀典 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社