專利名稱：處理槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型系關(guān)于一種處理槽，特別是一種處理物體表面的處理槽。
背景技術(shù)：
電子產(chǎn)品的制造過程經(jīng)常包含清潔、蝕刻等作業(yè)。例如，顯示器或觸控屏幕的制程通常需要在玻璃基板上沉積電路，而沉積電路之前需要以清潔液清洗玻璃基板，或者在玻璃基板上需用蝕刻液蝕刻玻璃基板上的導(dǎo)電層，以上制程都需將玻璃基板浸泡于裝在處理槽中的處理液中。圖I顯示一種傳統(tǒng)技術(shù)的處理槽I。制程所需處理液(未繪出)被注入處理槽I內(nèi)。處理槽I的主體大致上由四個(gè)槽壁10a/b/c/d與一底部12構(gòu)成。槽壁IOa與IOc具
有許多穿孔14，處理槽I內(nèi)設(shè)置有許多傳動(dòng)軸16，其中每個(gè)傳動(dòng)軸16的一端穿過槽壁IOa的一穿孔14，另一端穿過槽壁IOc的對(duì)應(yīng)穿孔14。此外，一驅(qū)動(dòng)裝置(未繪出)連接傳動(dòng)軸16的一端或兩端，以帶動(dòng)傳動(dòng)軸16旋轉(zhuǎn)。傳動(dòng)軸16上具有滾輪18,可帶動(dòng)一待處理的基板(未繪出)由槽壁IOd的入口 20a進(jìn)入，經(jīng)過制程處理后，再帶動(dòng)該基板從槽壁IOb的出口 20b出去。然，傳動(dòng)軸16通過穿孔14貫穿于處理槽1，為保證傳動(dòng)軸16有效地轉(zhuǎn)動(dòng)，一般地，傳動(dòng)軸16與穿孔14之間存在空隙，因而當(dāng)液體被注入處理槽I時(shí)，液體便從傳動(dòng)軸16與穿孔14之間的空隙漏出，造成處理槽I的液面高度不足，導(dǎo)致待處理物清洗不全面、蝕刻不完全或不均勻等問題。另，該處理槽還包括阻水輪22，阻水輪22雖可稍微增加處理液的液面高度，但卻有基板碰撞阻水輪而被刮傷或阻水輪22上堆積的臟污弄臟基板等問題。鑒于上述，有需要提出一種新的結(jié)構(gòu)以改善傳統(tǒng)技術(shù)的缺失。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于上述，本實(shí)用新型將傳動(dòng)裝置設(shè)置在處理槽內(nèi)部而通過齒輪驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，以改善傳統(tǒng)處理槽漏液所造成的問題，以提高產(chǎn)品良率，同時(shí)去除傳統(tǒng)處理槽中所設(shè)置的阻水輪，以避免待處理物件碰撞阻水輪而被刮傷或避免遺留在阻水輪上的臟污弄臟待處理物件。本實(shí)用新型一實(shí)施例提供一種處理槽，用于裝處理液以處理一待處理物件，該處理槽包含一槽體；一傳動(dòng)裝置，掛設(shè)于該槽體內(nèi)部；以及一齒輪驅(qū)動(dòng)裝置，懸掛在該槽體的一側(cè)且嚙合該些傳動(dòng)裝置以驅(qū)動(dòng)該些傳動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)。在一實(shí)施例，其中該槽體包括復(fù)數(shù)個(gè)槽壁及一底部，該些傳動(dòng)裝置的兩端掛設(shè)于兩個(gè)相對(duì)的第一槽壁和第二槽壁上，該第一槽壁和第二槽壁為密閉式槽壁。在一實(shí)施例,其中該第一槽壁包括一第一外卡槽、一第一中卡槽和一第一內(nèi)卡槽，該第二槽壁包括一第二內(nèi)卡槽，其中該第一中卡槽的高度高于該第一外卡槽和該第一內(nèi)卡槽的高度，該第一外卡槽、該第一內(nèi)卡槽與該第二內(nèi)卡槽高度相等，該第一外卡槽、該第一中卡槽、該第一內(nèi)卡槽與該第二內(nèi)卡槽均包括復(fù)數(shù)個(gè)凹孔。在一實(shí)施例，其中該齒輪驅(qū)動(dòng)裝置包括一第一齒輪組，卡合于該第一外卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中；以及一第二齒輪組，卡合于該第一中卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中且其兩端分別嚙合于該第一齒輪組和該傳動(dòng)裝置。在一實(shí)施例，其中，該第一齒輪組包括復(fù)數(shù)個(gè)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿、第一軸承及第一齒輪，該些第一軸承及第一齒輪套接于該些第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿上；第二齒輪組包括復(fù)數(shù)個(gè)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿、第二軸承及第二齒輪，該些第二軸承及第二齒輪套接于該些第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿上；以及該傳動(dòng)裝置包括復(fù)數(shù)個(gè)傳動(dòng)軸、傳動(dòng)軸承及傳動(dòng)齒輪,該些傳動(dòng)軸承及傳動(dòng)齒輪 套接于該些傳動(dòng)軸上；其中該第一齒輪組的第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端卡合于該第一外卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中，該第二齒輪組的第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿卡合于該第一中卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中，且該第二齒輪組兩端的第二齒輪分別與該第一齒輪組的第一齒輪及該傳動(dòng)軸上的傳動(dòng)齒輪嚙合。在一實(shí)施例，更包括一限位桿，該限位桿從該第二齒輪組的第二齒輪延伸至該處
理槽的該第二槽壁。在一實(shí)施例，其中該限位桿位于該傳動(dòng)裝置上方且該限位桿的設(shè)置高度與該第二齒輪組的設(shè)置高度相同。在一實(shí)施例,其中該傳動(dòng)裝置的兩端分別卡合于該第一內(nèi)卡槽和第二內(nèi)卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中。在一實(shí)施例，其中該槽壁具有相對(duì)設(shè)置的第三槽壁和第四槽壁，該第三槽壁和第四槽壁分別包含一入口與一出口，用于通過該待處理物件，該入口與該出口的尺寸與該待處理物件的尺寸相配合。在一實(shí)施例，其中該傳動(dòng)裝置包括復(fù)數(shù)個(gè)滾輪以移動(dòng)該待處理物件。本實(shí)用新型提供了一種處理槽，除了待處理物件通過的開口外，處理槽的壁槽和底部皆為密閉，解決了傳統(tǒng)處理槽液漏液的問題，使得處理槽中的處理液能穩(wěn)定地維持在所需的液面高度，例如，使該處理液的液面浸沒待處理物件的高度。同時(shí)，移除了傳統(tǒng)處理槽所具有的阻水輪，以避免因阻水輪而造成的刮傷或避免遺留在阻水輪上的臟污弄臟待處理物件，如此使制程，例如基板的清潔或蝕刻，得以順利進(jìn)行，因而提高產(chǎn)品良率。

圖I顯示一種傳統(tǒng)技術(shù)的的處理槽。圖2顯示根據(jù)本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的處理槽。圖3顯示本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的第一槽壁結(jié)構(gòu)。圖4為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的第一槽壁的俯視圖。圖5顯示本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的第二槽壁結(jié)構(gòu)。圖6顯示本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的部分齒輪驅(qū)動(dòng)裝置。圖7顯示本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的第一齒輪組與第二齒輪組的連接關(guān)系O具體實(shí)施方式
以下將詳述本案的各實(shí)施例，并配合圖式作為例示。除了這些詳細(xì)描述之外，本實(shí)用新型還可以廣泛地施行在其它的實(shí)施例中，任何所述實(shí)施例的輕易替代、修改、等效變化都包含在本案的范圍內(nèi)，并以之后的專利范圍為準(zhǔn)。在說明書的描述中，為了使讀者對(duì)本實(shí)用新型有較完整的了解，提供了許多特定細(xì)節(jié)；然而，本實(shí)用新型可能在省略部分或全部這些特定細(xì)節(jié)的前提下，仍可實(shí)施。此外，眾所周知的步驟或組件并未描述于細(xì)節(jié)中，以避免造成本實(shí)用新型不必要之限制。圖式中相同或類似之組件將以相同或類似符號(hào)來表示。特別注意的是，圖式僅為示意之用，并非代表組件實(shí)際的尺寸或數(shù)量，除非有特別說明。圖2顯示根據(jù)本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的處理槽3，該處理槽3包括槽體32，掛設(shè)于該槽體32內(nèi)部的傳動(dòng)裝置39及懸掛在該槽體32 —側(cè)且嚙合該傳動(dòng)裝置39以驅(qū)動(dòng)該傳動(dòng)裝置39轉(zhuǎn)動(dòng)的齒輪驅(qū)動(dòng)裝置30。槽體32大致上由第一槽壁31a、第二槽壁31b、第三槽壁31c、第四槽壁31d及一底部43構(gòu)成。 請(qǐng)同時(shí)參考圖3與圖4，圖3顯示本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的第一槽壁結(jié)構(gòu)，圖4為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的第一槽壁的俯視圖。第一槽壁31a包括第一外卡槽315、第一中卡槽313和第一內(nèi)卡槽311。第一中卡槽313將位于槽體32外表面的第一外卡槽315與位于槽體32內(nèi)表面的第一內(nèi)卡槽311相間隔，且底部43到第一中卡槽313高度高于底部43到第一外卡槽315和第一內(nèi)卡槽311的高度。第一外卡槽315與第一內(nèi)卡槽311到底部43的高度相等，且第一外卡槽315與第一內(nèi)卡槽311在具有相同的結(jié)構(gòu)。第一外卡槽315、第一中卡槽313和第一內(nèi)卡槽311均包括復(fù)數(shù)個(gè)凹孔，例如凹孔315a，313a，311a。請(qǐng)參考圖5，圖5顯示本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的處理槽的第二槽壁結(jié)構(gòu)。第二槽壁31b與第一槽壁31a相對(duì)且具有與第一槽壁31a相似的結(jié)構(gòu)，但第二槽壁31b僅具有包含復(fù)數(shù)個(gè)凹孔317a的第二內(nèi)卡槽317，其中底部43到該第二內(nèi)卡槽317的高度與該第一內(nèi)卡槽311及第一外卡槽315的高度相同。另，第二槽壁31b還設(shè)有一限位孔45a，其作用將在后續(xù)實(shí)施中說明。以上所述的第一槽壁31a和第二槽壁31b為封閉式槽壁。入口 33a及出口 33b則設(shè)置在第三槽壁31c和第四槽壁31d上，以供待處理物件的進(jìn)出，使待處理物件由第三槽壁31c的入口 33a進(jìn)入，經(jīng)處理制程完畢后，再由第四槽壁3Id的出口 33b移出，其中待處理物件可以是，但不限于，一玻璃基板、一塑料基板或一電路板等。處理制程可以包含，但不限于，一清潔制程，例如一超音波清潔制程，或者一液體蝕刻制程。根據(jù)不同的處理制程，注入所需的處理液于處理槽3內(nèi)。入口 33a與出口 33b的尺寸與待處理物體的尺寸相配合，即入口 33a與出口 33b僅容許待處理物件通過。請(qǐng)同時(shí)參考圖2、圖3、圖4、圖5、圖6，說明本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的傳動(dòng)裝置39及齒輪驅(qū)動(dòng)裝置30。于本實(shí)施例，齒輪驅(qū)動(dòng)裝置30包含了第一齒輪組35及第二齒輪組37，其中為求清楚顯示齒輪組之間的關(guān)系，圖6省略了第二齒輪組37，僅顯示處理槽3的部分部件。處理槽3內(nèi)設(shè)置有傳動(dòng)裝置39，傳動(dòng)裝置39掛設(shè)于兩個(gè)相對(duì)的第一槽壁31a和第二槽壁31b上，如圖6，傳動(dòng)裝置39包含傳動(dòng)軸39a，傳動(dòng)軸承39b、傳動(dòng)齒輪39c及滾輪39d，傳動(dòng)軸承39b、傳動(dòng)齒輪39c及滾輪39d以套接的方式設(shè)置在傳動(dòng)軸39a上，傳動(dòng)軸承39b協(xié)助傳動(dòng)軸39a與凹孔311a的固定。傳動(dòng)軸39a的兩端分別卡合于第一槽壁31a上的第一內(nèi)卡槽311的凹孔311a和第二槽壁31b上的第二內(nèi)卡槽317的凹孔317a。此外，設(shè)置在傳動(dòng)軸39a上的一或多個(gè)滾輪39d，用于移動(dòng)待處理物件，例如前述的各種基板。如圖6，第一齒輪組35包含復(fù)數(shù)個(gè)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿35a，每個(gè)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿35a上設(shè)置有第一軸承35b與第一齒輪35c，例如第一軸承35b與第一齒輪35c是套接于第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿35a,第一齒輪組35,卡合于該第一外卡槽315對(duì)應(yīng)的凹孔315a中，更具體而言,第一齒輪組35的一端可連接一馬達(dá)，其另一端卡合于第一外卡槽315對(duì)應(yīng)的凹孔315a，其卡合結(jié)構(gòu)與傳動(dòng)軸39a卡合第一內(nèi)卡槽311的卡合結(jié)構(gòu)相似,而第一軸承35b的作用是將第一齒輪35c固定于第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿35a。如圖2，第二齒輪組37包含復(fù)數(shù)個(gè)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿37a，每個(gè)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿37a上設(shè)置有第二軸承37b與第二齒輪37c，例如第二軸承37b與第二齒輪37c是套接于第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿37a，第二齒輪組37，卡合于該第一中卡槽313對(duì)應(yīng)的凹孔313a中，更具體 而言，第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿37a卡合于第一中卡槽313對(duì)應(yīng)的凹孔313a中，而第二軸承37b協(xié)助第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿37a與凹孔313a的固定。此外，第二齒輪組37兩端上的該些第二齒輪37c分別與第一齒輪組35的第一齒輪35c以及傳送裝置39的傳動(dòng)齒輪39c嚙合。如圖7所示，其清楚地顯示第一齒輪組35的第一齒輪35c與第二齒輪組37的第二齒輪37c嚙合的狀態(tài)。藉此，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)第一齒輪組35轉(zhuǎn)動(dòng)，第一齒輪組35驅(qū)動(dòng)第二齒輪組37轉(zhuǎn)動(dòng)，第二齒輪組37驅(qū)動(dòng)傳送裝置39的傳動(dòng)齒輪39c轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)傳動(dòng)軸39a轉(zhuǎn)動(dòng)，再由傳動(dòng)軸39a上的滾輪39d移動(dòng)待處理物件進(jìn)出。此外，槽體32內(nèi)設(shè)有限位桿45，限位桿45連接第二齒輪組37，從第二齒輪組37的第二齒輪37c延伸至第二槽壁31b且進(jìn)一步卡合于第二槽壁31b的限位孔45a。由第二齒輪組37帶動(dòng)限位桿45轉(zhuǎn)動(dòng)，且限位桿45位于傳動(dòng)軸39a的上方、該限位桿45的設(shè)置高度與該第二齒輪組37的設(shè)置高度相同，以防止待處理物件漂浮在液面上而使待處理物件無法浸沒在處理液中。限位桿45的數(shù)量可以是一或多個(gè)。限位桿45上也可設(shè)置滾輪39d，以協(xié)助傳輸待處理物件。值得注意的是，本實(shí)施例雖例示2個(gè)齒輪組的齒輪驅(qū)動(dòng)裝置30，但于其它實(shí)施例，齒輪組的數(shù)量可不限于2個(gè)。根據(jù)本實(shí)用新型的概念，由于傳動(dòng)軸35并未穿出第一槽壁31a與第二槽壁31b，處理液不會(huì)由第一槽壁31a與第二槽壁31b漏出，使液面高度得以穩(wěn)定的被控制。再者，由于入口 33a與出口 33b的尺寸僅容許待處理物件通過，可使處理槽3漏水量大幅減少；因此，處理槽3不需要設(shè)置習(xí)知的阻水輪22(圖I)，改善了阻水輪22刮傷或弄臟待處理物件的缺失。值得注意的是，為強(qiáng)調(diào)本實(shí)用新型特征，圖標(biāo)中僅顯示重要組件，忽略次要組件。因應(yīng)各種制程需要，處理槽3可具有其它組件或輔助裝置，其可包含，但不限于，光源、電源、超音波產(chǎn)生裝置，清洗水柱產(chǎn)生組件或裝置，冷卻管路，處理槽清洗裝置與管路等等。處理槽3也可具有上蓋(未繪出)，設(shè)置于對(duì)應(yīng)底部43的位置，使封閉處理槽3。此外，于本實(shí)施例，傳動(dòng)軸等組件為水平設(shè)置，但在另一實(shí)施例，因應(yīng)制程所需，傳動(dòng)軸等組件也可以是垂直設(shè)置。處理槽入口 33a與出口 33b也可以視需要設(shè)置于其它位置，不限于圖中所示。本實(shí)用新型提供了一種處理槽，除了待處理物件通過的開口外，其它槽壁和底部皆為密閉，因此能可使處理液穩(wěn)定地維持在所需的液面高度，例如，維持浸沒待處理物件的高度。同時(shí)，移除了傳統(tǒng)處理槽所具有的阻水輪，以避免因待處理物件碰撞阻水輪而造成的刮傷或避免遺留在阻水輪上的臟污弄臟待處理物件，如此使制程，例如基板的清潔或蝕亥1J，得以順利進(jìn)行，因而提1 廣品良率。以上所述僅為本實(shí)用新型之較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新型之申請(qǐng)專利范圍；凡其它未脫離創(chuàng)作所揭示之精神下所完成之等效改變或修飾，均應(yīng)包含在下述之申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。·
權(quán)利要求1.一種處理槽，用于裝處理液以處理一待處理物件，其特征在于，該處理槽包含 一槽體； 一傳動(dòng)裝置，掛設(shè)于該槽體內(nèi)部；以及 一齒輪驅(qū)動(dòng)裝置，懸掛在該槽體的一側(cè)且嚙合該些傳動(dòng)裝置以驅(qū)動(dòng)該些傳動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的處理槽，其特征在于，該槽體包括復(fù)數(shù)個(gè)槽壁及一底部，該些傳動(dòng)裝置的兩端掛設(shè)于兩個(gè)相對(duì)的第一槽壁和第二槽壁上，該第一槽壁和第二槽壁為密閉式槽壁。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理槽，其特征在于，該第一槽壁包括一第一外卡槽、一第一中卡槽和一第一內(nèi)卡槽，該第二槽壁包括一第二內(nèi)卡槽，其中該第一中卡槽的高度高于該第一外卡槽和該第一內(nèi)卡槽的高度，該第一外卡槽、該第一內(nèi)卡槽與該第二內(nèi)卡槽高度相等，該第一外卡槽、該第一中卡槽、該第一內(nèi)卡槽與該第二內(nèi)卡槽均包括復(fù)數(shù)個(gè)凹孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理槽，其特征在于，該齒輪驅(qū)動(dòng)裝置包括 一第一齒輪組，卡合于該第一外卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中；以及 一第二齒輪組，卡合于該第一中卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中且其兩端分別嚙合于該第一齒輪組和該傳動(dòng)裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理槽，其特征在于， 該第一齒輪組包括復(fù)數(shù)個(gè)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿、第一軸承及第一齒輪，該些第一軸承及第一齒輪套接于該些第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿上； 第二齒輪組包括復(fù)數(shù)個(gè)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿、第二軸承及第二齒輪，該些第二軸承及第二齒輪套接于該些第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿上；以及 該傳動(dòng)裝置包括復(fù)數(shù)個(gè)傳動(dòng)軸、傳動(dòng)軸承及傳動(dòng)齒輪，該些傳動(dòng)軸承及傳動(dòng)齒輪套接于該些傳動(dòng)軸上； 其中該第一齒輪組的第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端卡合于該第一外卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中，該第二齒輪組的第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿卡合于該第一中卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中，且該第二齒輪組兩端的第二齒輪分別與該第一齒輪組的第一齒輪及該傳動(dòng)軸上的傳動(dòng)齒輪嚙合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理槽，其特征在于，更包括一限位桿，該限位桿從該第二齒輪組的第二齒輪延伸至該處理槽的該第二槽壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的處理槽，其特征在于，該限位桿位于該傳動(dòng)裝置上方且該限位桿的設(shè)置高度與該第二齒輪組的設(shè)置高度相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理槽，其特征在于，該傳動(dòng)裝置的兩端分別卡合于該第一內(nèi)卡槽和第二內(nèi)卡槽對(duì)應(yīng)的凹孔中。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理槽，其特征在于，該槽壁具有相對(duì)設(shè)置的第三槽壁和第四槽壁，該第三槽壁和第四槽壁分別包含一入口與一出口，用于通過該待處理物件，該入口與該出口的尺寸與該待處理物件的尺寸相配合。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的處理槽，其特征在于，該傳動(dòng)裝置包括復(fù)數(shù)個(gè)滾輪以移動(dòng)該待處理物件。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于裝處理液以處理一待處理物件的處理槽，該處理槽包含一槽體；一傳動(dòng)裝置，掛設(shè)于該槽體內(nèi)部；以及一齒輪驅(qū)動(dòng)裝置，懸掛在該槽體的一側(cè)且嚙合該傳動(dòng)裝置，以驅(qū)動(dòng)該傳動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，藉此，解決傳統(tǒng)處理槽因漏水而造成待處理物件清洗不全面、蝕刻不完全或不均勻等問題。
文檔編號(hào)C03C15/00GK202576239SQ201220106920
公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月20日
發(fā)明者王其峰, 楊明重, 黃志清 申請(qǐng)人:宸鴻科技(廈門)有限公司