一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，：包括箱體和支撐板，所述箱體底部設(shè)置有恒溫加熱棒，所述箱體中部每個側(cè)面上均設(shè)置有支撐片，所述支撐片用于在支撐板放入箱體內(nèi)時，支撐所述支撐板，所述支撐板上具有多個通孔。本實用新型具有不會影響后續(xù)脫膠，脫膠溫度均勻的優(yōu)點。解決現(xiàn)有恒溫脫膠臺膠水和碎屑堆積以及脫膠溫度不均的問題。
【專利說明】—種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及單晶硅棒加工領(lǐng)域，特別指一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的單晶硅棒恒溫脫膠臺脫膠時，膠水和碎屑在脫膠后會堆積在脫膠臺的底部，長時間會影響后續(xù)的脫膠。由于加熱棒是裸露的，單晶硅片在放置時有時會太靠近加熱棒使得脫膠溫度不均，影響脫膠效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題，在于提供一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，解決現(xiàn)有恒溫脫膠臺膠水和碎屑堆積以及脫膠溫度不均的問題。
[0004]本實用新型是這樣實現(xiàn)的:
[0005]一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，包括箱體和支撐板，所述箱體底部設(shè)置有恒溫加熱棒，所述箱體中部每個側(cè)面上均設(shè)置有支撐片，所述支撐片用于在支撐板放入箱體內(nèi)時，支撐所述支撐板，所述支撐板上具有多個通孔。
[0006]進一步地，所述支撐片的個數(shù)為兩個。
[0007]進一步地，所述的箱體橫截面為正方形。
[0008]進一步地 ,所述支撐板中心具有一個直徑為3cnT6cm的圓孔。
[0009]進一步地,所述通孔直徑為3mnTl0mm。
[0010]本實用新型的優(yōu)點在于:膠水和碎屑會通過通孔掉落到脫膠臺內(nèi)部，不會影響后續(xù)脫膠，由于支撐板支撐使得單晶硅片不會靠近加熱棒，從而使得脫膠溫度均勻。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]下面參照附圖結(jié)合實施例對本實用新型作進一步的說明。
[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]如圖1所示，一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，包括箱體I和支撐板2，箱體I底部設(shè)置有恒溫加熱棒3，箱體I中部每個側(cè)面上均設(shè)置有支撐片4，支撐片4用于在支撐板2放入箱體I內(nèi)時，支撐著支撐板2，支撐板2上具有多個通孔20。由于具有多個通孔20，本實用新型在脫膠時，膠水和碎屑等殘渣會掉落到箱體I的底部，而不會在支撐板2上堆積，則不會影響下一次的脫膠。當(dāng)膠水和碎屑堆積到一定量時，可以集中清理。也可以在箱體I的底部設(shè)置一個排渣孔，在清理時排出殘渣。同時由于恒溫加熱棒3在箱體I底部而支撐板2在箱體I中部，兩者會間隔一定距離，支撐板2上的切割后的單晶硅棒(即單晶硅片)不會直接接觸到恒溫加熱棒3，而是通過水進行熱傳遞，使得單晶硅棒受熱均勻。[0014]過多的支撐片4使得制作相對麻煩，但是每個側(cè)面只設(shè)置一個支撐片4又會造成支撐板容易傾斜，則支撐片的個數(shù)為兩個最為適當(dāng)。
[0015]優(yōu)選的箱體I橫截面為正方形，則支撐板2在放入時不用考慮方向。支撐板2橫截面形狀應(yīng)和箱體I的橫截面形狀相同，但是支撐板2的各邊應(yīng)略小于箱體I的相應(yīng)的內(nèi)邊長，以便于支撐板2的放入。
[0016]為了方便支撐板2的取出，在支撐板2的中心設(shè)有一個直徑為3cnT6Cm的圓孔21。這樣的圓孔21直接用手指即可將支撐板2從中間拿起，快速方便。
[0017]優(yōu)選的通孔20直徑為3mnTl0mm。太小的通孔不利于殘渣的掉落，太大的通孔又會對支撐板2的強度造成影響。
[0018]以上所述實施方式，只是本實用新型的較佳實施方式，并非來限制本實用新型實施范圍，故凡依本實用新型申請專利范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均應(yīng)包括本實用新型專利申請范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于:包括箱體和支撐板，所述箱體底部設(shè)置有恒溫加熱棒，所述箱體中部每個側(cè)面上均設(shè)置有支撐片，所述支撐片用于在支撐板放入箱體內(nèi)時，支撐所述支撐板，所述支撐板上具有多個通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于:所述支撐片的個數(shù)為兩個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于:所述的箱體橫截面為正方形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于:所述支撐板中心具有一個直徑為3cnT6cm的圓孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于:所述通孔直徑為3mnTl0mm。
【文檔編號】B08B3/10GK203648906SQ201320723157
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】陳吉祥, 李競宇, 張建國 申請人:龍巖市華德光電有限公司