專利名稱：平移式基板清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)平板物件的清洗裝置，尤其涉及一種適用于對(duì)平板狀的基板進(jìn) 行清洗的平移式基板清洗裝置。
背景技術(shù)：
隨著各種半導(dǎo)體產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用及半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的批量生產(chǎn)越 來(lái)越大規(guī)模，同時(shí)半導(dǎo)體產(chǎn)品的尺寸也越來(lái)越大，導(dǎo)致半導(dǎo)體工藝日趨復(fù)雜，而產(chǎn)品的生產(chǎn) 不僅要求高精度，也要求高效率及高自動(dòng)化，因此，對(duì)生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)工 藝也提出了更高的要求，對(duì)于半導(dǎo)體制品，例如有機(jī)發(fā)光顯示器件、液晶顯示器件、非晶硅 太陽(yáng)能電池板等，其生產(chǎn)都需要利用玻璃等作為基板，在基板上進(jìn)行多種工序進(jìn)而形成多 層薄膜，工藝步驟中涉及的鍍膜、光刻、蝕刻等工藝會(huì)產(chǎn)生粉塵附著在基板上，進(jìn)而影響基 板的清潔度，基板的清潔度對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量有著重大影響，因此，在于鍍膜、光刻及蝕刻等步 驟中必須貫穿有清洗步驟，以維持基板在生產(chǎn)過(guò)程中的表面清潔度。以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，即有機(jī)發(fā)光二極管)為例，OLED 的制 造一般都在玻璃基板上進(jìn)行多次工藝步驟，進(jìn)而在基板上相繼沉積多層薄膜，其膜層主要 包括在玻璃基板上形成的透明陽(yáng)極，在陽(yáng)極上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、 電子傳輸層和電子注入層，最后是金屬陰極層；在各個(gè)工藝步驟中若基板上沉積有粉塵，在 下一膜層的形成過(guò)程中會(huì)將其覆蓋，進(jìn)而影響膜層的厚度和均勻性，影響后續(xù)的工藝質(zhì)量， 最終使OLED的質(zhì)量降低，可見基板的清潔起著舉足輕重的作用，因此需要一種基板清洗裝 置，對(duì)基板進(jìn)行高效清洗的同時(shí)也能保證基板的高清潔度。然而，現(xiàn)有用于清潔基板的裝置具有長(zhǎng)方形的流體噴射區(qū)，在該區(qū)域內(nèi)相隔預(yù)定 位置設(shè)置有多個(gè)噴射口，當(dāng)運(yùn)動(dòng)的基板經(jīng)過(guò)時(shí)，噴射口內(nèi)噴射出清洗液進(jìn)而對(duì)基板進(jìn)行清 洗，但是由于各噴射口間具有閑置噴射區(qū)域，在該區(qū)域?qū)?yīng)的基板上或基板的邊緣位置處， 會(huì)出現(xiàn)清洗液噴射較少或噴射不均的現(xiàn)象，導(dǎo)致這些區(qū)域的清洗效果不佳，這種現(xiàn)象在較 大尺寸的基板中尤為明顯；為解決上述問(wèn)題，通常會(huì)在噴射區(qū)域內(nèi)增加噴射口以達(dá)到大面 積噴射的目的，但這種結(jié)果不僅使裝置復(fù)雜，而且會(huì)造成清洗液的大量浪費(fèi)，增加生產(chǎn)成 本。因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、清潔效率及清潔度高的平移式基板清洗
直ο

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、清潔效率及清潔度高的平 移式基板清洗裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種平移式基板清洗裝置，適用于 對(duì)平板狀的基板進(jìn)行清洗，所述平移式基板清洗裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及清洗機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述清洗機(jī)構(gòu)對(duì)所述平板狀的基板進(jìn)行清洗，其中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座，所述固定座具有平行設(shè)置的上底板及下底板，所述上底板與所述下底 板之間形成安裝區(qū)，所述往復(fù)座滑動(dòng)地安裝于所述下底板上，所述電機(jī)安裝于所述上底板 上并位于所述安裝區(qū)內(nèi)，所述偏心輪連接于所述電機(jī)與所述往復(fù)座之間并平行于所述上底 板及所述下底板，所述電機(jī)通過(guò)所述偏心輪驅(qū)動(dòng)所述往復(fù)座作往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述清洗機(jī)構(gòu)包 括固定架、輸入總管及安裝于所述固定架上的若干管道組，所述管道組等間距排列且分別 與所述輸入總管連通，所述管道組上設(shè)置有朝向基板的用于噴灑清洗液的噴嘴，所述固定 架與所述往復(fù)座固定連接，所述固定架懸置于基板上方并與所述基板平行。較佳地，所述固定座的下底板上開設(shè)有沿所述固定架方向延伸的導(dǎo)槽，所述往復(fù) 座的下端安裝有滑動(dòng)卡設(shè)于所述導(dǎo)槽內(nèi)的第一軸承，所述往復(fù)座的上端開設(shè)有與所述導(dǎo)槽 相垂直的軸承槽，所述偏心輪上設(shè)置有第二軸承，所述第二軸承的中心軸平行于所述偏心 輪的軸向，所述第二軸承容置于所述軸承槽內(nèi)與所述軸承槽滾動(dòng)連接，所述偏心輪通過(guò)所 述第二軸承驅(qū)動(dòng)所述往復(fù)座沿所述導(dǎo)槽作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)；更具體地，所述導(dǎo)槽的延伸方向 與所述基板的傳輸方向垂直。電機(jī)驅(qū)動(dòng)偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)，偏心輪通過(guò)第二軸承驅(qū)動(dòng)往復(fù)座沿導(dǎo) 槽作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，往復(fù)座帶動(dòng)固定架作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使管道組將清洗液均勻充分地噴 灑在直線運(yùn)動(dòng)的基板上，可對(duì)直線運(yùn)動(dòng)中的基板進(jìn)行不間斷地清洗，提高基板的清洗效率， 同時(shí)使基板得到均勻充分的清洗，保持高清潔度。較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括連接座，所述連接座固定連接于所述往復(fù)座與所述 固定架之間。電機(jī)通過(guò)偏心輪帶動(dòng)往復(fù)座沿導(dǎo)槽作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，往復(fù)座通過(guò)連接座帶動(dòng) 固定架作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使往復(fù)座與固定座之間的連接簡(jiǎn)便。較佳地，所述管道組包括分支管及噴嘴管，所述分支管的一端與所述輸入總管連 通，所述分支管的另一端與所述噴嘴管連通，所述噴嘴管與所述固定架固定連接，所述噴嘴 均勻設(shè)置于所述噴嘴管上，全部所述管道組的噴嘴管等間距排列且位于與所述基板平行的 一個(gè)面上。通過(guò)輸入總管統(tǒng)一控制清洗液的輸入量，并將清洗液均勻地分流到各分支管，再 通過(guò)噴嘴管上均勻設(shè)置的噴嘴噴灑在直線運(yùn)動(dòng)的基板上，便于清潔液流量的控制，有效節(jié) 約清潔液。較佳地，所述平移式基板清洗裝置還包括引導(dǎo)架，所述引導(dǎo)架上設(shè)有與所述導(dǎo)槽 相平行的引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)架對(duì)稱設(shè)置于所述固定架的兩側(cè)，所述固定架上設(shè)置有與所述 導(dǎo)槽相平行的連接桿，所述連接桿滑動(dòng)地穿過(guò)所述引導(dǎo)架的引導(dǎo)槽；更具體地，所述引導(dǎo)架 包括支架及樞接于所述支架上的上導(dǎo)向輪及下導(dǎo)向輪，所述上導(dǎo)向輪與所述下導(dǎo)向輪之間 形成所述引導(dǎo)槽。固定架的連接桿滑動(dòng)地穿過(guò)上導(dǎo)向輪與下導(dǎo)向輪之間形成的引導(dǎo)槽，使 固定架的運(yùn)動(dòng)阻力大為減小，進(jìn)而使平移式基板清洗裝置使用較小功率的電機(jī)即可驅(qū)動(dòng)固 定架作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，節(jié)約能源，并使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座，所 述固定座具有平行設(shè)置的上底板及下底板，所述上底板與所述下底板之間形成安裝區(qū)，所 述往復(fù)座滑動(dòng)地安裝于所述下底板上，所述電機(jī)安裝于所述上底板上并位于所述安裝區(qū) 內(nèi)，所述偏心輪連接于所述電機(jī)與所述往復(fù)座之間并平行于所述上底板及所述下底板，所 述電機(jī)通過(guò)所述偏心輪驅(qū)動(dòng)所述往復(fù)座作往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述清洗機(jī)構(gòu)包括固定架、輸入總管 及安裝于所述固定架上的若干管道組，所述管道組等間距排列且分別與所述輸入總管連 通，所述管道組上設(shè)置有朝向基板的噴灑清洗液的噴嘴，所述固定架與所述往復(fù)座固定連接，所述固定架懸置于基板上方并與所述基板平行；清洗時(shí)，清洗液通過(guò)輸入總管流入管道 組內(nèi)，再通過(guò)管道組上的噴嘴噴灑到基板上進(jìn)而對(duì)基板進(jìn)行清洗，在此過(guò)程中，所述電機(jī)通 過(guò)偏心輪驅(qū)動(dòng)往復(fù)座在下底板上作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，往復(fù)座帶動(dòng)固定架往復(fù)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使清洗液 通過(guò)噴嘴均勻充分的噴灑在直線運(yùn)動(dòng)的基板上，避免管道組之間的間隙或噴嘴之間的間隙 所對(duì)應(yīng)的區(qū)域噴灑到的清洗液不均或不充分，進(jìn)而使基板得到均勻充分的清洗，具有較高 的清潔度，并且將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為往復(fù)座及固定架的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，可連續(xù)對(duì)直線運(yùn)動(dòng) 中的基板進(jìn)行不間斷的清洗，提高基板的清洗效率，同時(shí)，通過(guò)電機(jī)通過(guò)偏心輪帶動(dòng)往復(fù)座 往復(fù)運(yùn)動(dòng)，提高平移式基板清洗裝置的自動(dòng)化程度，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。


圖1是本發(fā)明平移式基板清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的放大示意圖。圖3是本發(fā)明平移式基板清洗裝置的使用狀態(tài)示意圖。圖4是本發(fā)明平移式基板清洗裝置的另一狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。如圖1、圖2所示，本發(fā)明平移式基板清洗裝置1包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10、清洗機(jī)構(gòu)20及 引導(dǎo)架30，清洗機(jī)構(gòu)20滑動(dòng)地安裝于引導(dǎo)架30上，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10設(shè)置于清洗機(jī)構(gòu)20的一側(cè) 并驅(qū)動(dòng)清洗機(jī)構(gòu)20對(duì)直線運(yùn)動(dòng)的基板進(jìn)行清洗。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10包括固定座110、電機(jī)120、 偏心輪130及往復(fù)座140，固定座110具有平行設(shè)置的上底板111及下底板112，上底板111 與下底板112之間通過(guò)支柱115連接，上底板111與下底板112之間形成安裝區(qū)113，電機(jī) 120安裝于上底板111上且輸出軸位于安裝區(qū)113內(nèi)；在下底板112上開設(shè)有沿清洗機(jī)構(gòu) 20方向延伸的導(dǎo)槽114，且導(dǎo)槽114的延伸方向與基板的傳輸方向垂直，往復(fù)座140的下端 安裝有滑動(dòng)卡設(shè)于導(dǎo)槽114內(nèi)的第一軸承142，往復(fù)座140的上端開設(shè)有與導(dǎo)槽114相垂 直的軸承槽141 ；偏心輪130上設(shè)置有第二軸承131，且第二軸承131位于偏心輪130的下 方，第二軸承131的中心軸平行于偏心輪130的軸向，偏心輪130設(shè)置于往復(fù)座140與電機(jī) 120之間且與電機(jī)120的輸出軸連接，第二軸承131容置于往復(fù)座140上端的軸承槽141內(nèi) 與軸承槽141滾動(dòng)連接，第二軸承131可在軸承槽141內(nèi)滑動(dòng)，電機(jī)120驅(qū)動(dòng)偏心輪130轉(zhuǎn) 動(dòng)，偏心輪130通過(guò)第二軸承131帶動(dòng)往復(fù)座140在導(dǎo)槽114上作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)；清洗機(jī)構(gòu) 20包括固定架210、輸入總管220及安裝于固定架210上的若干管道組，固定架210懸置于 基板上方并與基板平行，管道組包括分支管230及噴嘴管240，分支管230的一端與輸入總 管210連通，分支管230的另一端與噴嘴管240連通，噴嘴管240與固定架210固定連接， 且所有噴嘴管240等間距排列并位于與基板平行的一個(gè)面上，噴嘴管240上均勻設(shè)置有朝 向基板的噴嘴250，噴嘴250用于噴灑清洗液，清洗液通過(guò)輸入總管220上的輸入口 221輸 入后，經(jīng)分支管230流入噴嘴管240內(nèi)，再由噴射管240上均勻設(shè)置的噴嘴250噴灑到直線 運(yùn)動(dòng)的基板上，清洗液由輸入總管220的輸入口 221統(tǒng)一控制輸入量，便于清潔液流量的控 制，有效節(jié)約清潔液。較佳者，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10還包括連接座150，連接座150固定連接于往復(fù)座140與固定
5架210之間；引導(dǎo)架30對(duì)稱設(shè)置于固定架210兩側(cè)，引導(dǎo)架30包括支架310及樞接于支架 310上的上導(dǎo)向輪320及下導(dǎo)向輪330，上導(dǎo)向輪320與下導(dǎo)向輪330之間形成引導(dǎo)槽340， 且引導(dǎo)槽340與導(dǎo)槽114相平行，固定架210上設(shè)置有與導(dǎo)槽114相平行的連接桿211，連 接桿211滑動(dòng)地穿過(guò)引導(dǎo)架310的引導(dǎo)槽340將固定架210樞接于導(dǎo)向架30上；固定架 210通過(guò)連接桿211滑動(dòng)地安裝于上導(dǎo)向輪320與下導(dǎo)向輪330之間形成的引導(dǎo)槽340內(nèi)， 使固定架210的運(yùn)動(dòng)阻力大為減小，進(jìn)而使平移式基板清洗裝置1使用較小功率的電機(jī)即 可驅(qū)動(dòng)固定架210往復(fù)運(yùn)動(dòng)，節(jié)約能源，并使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。下面結(jié)合圖3、圖4，對(duì)本發(fā)明平移式基板清洗裝置1用于對(duì)直線運(yùn)動(dòng)的基板2進(jìn) 行清洗的原理及過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。如圖3所示，將進(jìn)入清洗工序的基板2送入平移式基板清洗裝置1，基板2沿圖中 a方向直線運(yùn)動(dòng)?；?沿圖中a方向運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，清洗液從輸入總管220上的輸入口 221 加入到輸入總管220內(nèi)，清洗液經(jīng)輸入總管220均勻地分流到各分支管230中，分支管230 中的清洗液流到噴嘴管240后，經(jīng)噴嘴管240上的噴嘴250噴灑到基板2的表面，進(jìn)而對(duì)基 板2進(jìn)行清洗；在清洗過(guò)程中，電機(jī)120驅(qū)動(dòng)偏心輪130沿圖中箭頭方向轉(zhuǎn)動(dòng)，如圖3所示， 偏心輪130沿箭頭方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生動(dòng)力，進(jìn)而通過(guò)第二軸承131帶動(dòng)往復(fù)座140沿導(dǎo)槽114 滑動(dòng)，即沿圖中c方向滑動(dòng)，往復(fù)座140推動(dòng)固定架210也沿c方向運(yùn)動(dòng)，固定架210的運(yùn)動(dòng) 方向與基板的傳輸方向垂直，往復(fù)座140沿c方向運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，第二軸承131在軸承槽141 內(nèi)滾動(dòng)，進(jìn)而使第二軸承131從軸承槽141的一端向另一端滑動(dòng)，當(dāng)偏心輪130轉(zhuǎn)過(guò)180° 時(shí)，往復(fù)座140滑動(dòng)到導(dǎo)槽114的端點(diǎn)處，第二軸承131也滑動(dòng)到軸承槽141的一端；電機(jī) 120繼續(xù)驅(qū)動(dòng)偏心輪130轉(zhuǎn)動(dòng)，這時(shí)，第二軸承131沿軸承槽141往回滑動(dòng)，偏心輪130亦帶 動(dòng)往復(fù)座140往回滑動(dòng)，即沿圖中c方向相反的方向滑動(dòng)，進(jìn)而拉動(dòng)固定座110往回運(yùn)動(dòng)； 這樣使固定架210在基板2上方作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且固定架210的運(yùn)動(dòng)方向與基板2的傳 輸方向垂直，使噴嘴管240內(nèi)的清洗液通過(guò)噴嘴250均勻充分地噴灑在直線運(yùn)動(dòng)著的基板 2上，提高基板2的清潔度，并使平移式基板清洗裝置1具有較高的自動(dòng)化程度；固定架210 通過(guò)連接桿211滑動(dòng)地安裝于引導(dǎo)架30的上導(dǎo)向輪320與下導(dǎo)向輪330之間形成的引導(dǎo) 槽340內(nèi)，使固定架210的運(yùn)動(dòng)阻力大大減小，因此使用較小功率的電機(jī)120即可驅(qū)動(dòng)固定 架210往復(fù)運(yùn)動(dòng)，節(jié)約能源，并使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。由于本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10包括固定座110、電機(jī)120、偏心輪130及往復(fù)座140，固 定座110具有平行設(shè)置的上底板111及下底板112，上底板111與下底板112之間形成安 裝區(qū)113，往復(fù)座140滑動(dòng)地安裝于下底板112上，電機(jī)120安裝于上底板111上并位于安 裝區(qū)113內(nèi)，偏心輪130連接于電機(jī)120與往復(fù)座140之間并平行于上底板111及下底板 112 ；清洗機(jī)構(gòu)20包括固定架210、輸入總管220及安裝于固定架210上的若干管道組，管 道組包括分支管230及噴嘴管240，噴嘴管240固定安裝于固定架210上且等間距排列，分 支管230的一端與輸入總管220連通，分支管230的另一端與噴嘴管240連通，噴嘴管240 上設(shè)置有朝向基板的用于噴灑清洗液的噴嘴250，固定架210與往復(fù)座140固定連接，固定 架210懸置于基板上方并與所述基板平行；清洗液由輸入總管220輸入，由分支管230流入 噴嘴管240后，經(jīng)噴嘴管240上的噴嘴250噴灑在基板2上，實(shí)現(xiàn)對(duì)基板2的清洗；在清洗 過(guò)程中，電機(jī)120通過(guò)偏心輪130驅(qū)動(dòng)往復(fù)座140沿導(dǎo)槽114作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，往復(fù)座140 帶動(dòng)固定架210往復(fù)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使清洗液通過(guò)噴嘴250均勻充分地噴灑在直線運(yùn)動(dòng)著的基板2上，避免噴嘴管240之間的間隙或噴嘴250之間的閑置區(qū)域所對(duì)應(yīng)的基板2上噴灑到 的清洗液不均勻或不充分，進(jìn)而使對(duì)基板2的清洗具有較高的清潔度，并可連續(xù)對(duì)直線運(yùn) 動(dòng)中的基板2進(jìn)行不間斷地清洗，提高基板2的清洗效率，同時(shí)，通過(guò)電機(jī)120及偏心輪130 帶動(dòng)往復(fù)座140往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為復(fù)座140及固定架210的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，提高平移 式基板清洗裝置1的自動(dòng)化程度，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。本發(fā)明平移式基板清洗裝置1不限于對(duì)平板狀的基板2進(jìn)行清洗，可根據(jù)實(shí)際需 要，用于相類似的平板物件的清洗。本發(fā)明平移式基板清洗裝置1的噴嘴管240及噴嘴250的數(shù)量及設(shè)置方式等均為 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍，因此依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種平移式基板清洗裝置，適用于對(duì)平板狀的基板進(jìn)行清洗，所述平移式基板清洗裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及清洗機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述清洗機(jī)構(gòu)對(duì)所述平板狀的基板進(jìn)行清洗，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座，所述固定座具有平行設(shè)置的上底板及下底板，所述上底板與所述下底板之間形成安裝區(qū)，所述往復(fù)座滑動(dòng)地安裝于所述下底板上，所述電機(jī)安裝于所述上底板上并位于所述安裝區(qū)內(nèi)，所述偏心輪連接于所述電機(jī)與所述往復(fù)座之間并平行于所述上底板及所述下底板，所述電機(jī)通過(guò)所述偏心輪驅(qū)動(dòng)所述往復(fù)座作往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述清洗機(jī)構(gòu)包括固定架、輸入總管及安裝于所述固定架上的若干管道組，所述管道組等間距排列且分別與所述輸入總管連通，所述管道組上設(shè)置有朝向基板的用于噴灑清洗液的噴嘴，所述固定架與所述往復(fù)座固定連接，所述固定架懸置于基板上方并與所述基板平行。
2.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于所述固定座的下底板上開 設(shè)有沿所述固定架方向延伸的導(dǎo)槽，所述往復(fù)座的下端安裝有滑動(dòng)卡設(shè)于所述導(dǎo)槽內(nèi)的第 一軸承，所述往復(fù)座的上端開設(shè)有與所述導(dǎo)槽相垂直的軸承槽，所述偏心輪上設(shè)置有第二 軸承，所述第二軸承的中心軸平行于所述偏心輪的軸向，所述第二軸承容置于所述軸承槽 內(nèi)與所述軸承槽滾動(dòng)連接，所述偏心輪通過(guò)所述第二軸承驅(qū)動(dòng)所述往復(fù)座沿所述導(dǎo)槽作直 線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于所述導(dǎo)槽的延伸方向與所 述基板的傳輸方向垂直。
4.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括連接 座，所述連接座固定連接于所述往復(fù)座與所述固定架之間。
5.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于所述管道組包括分支管及 噴嘴管，所述分支管的一端與所述輸入總管連通，所述分支管的另一端與所述噴嘴管連通， 所述噴嘴管與所述固定架固定連接，所述噴嘴均勻設(shè)置于所述噴嘴管上，全部所述管道組 的噴嘴管等間距排列且位于與所述基板平行的一個(gè)面上。
6.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于還包括引導(dǎo)架，所述引導(dǎo)架 上設(shè)有與所述導(dǎo)槽相平行的引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)架對(duì)稱設(shè)置于所述固定架的兩側(cè)，所述固定 架上設(shè)置有與所述導(dǎo)槽相平行的連接桿，所述連接桿滑動(dòng)地穿過(guò)所述引導(dǎo)架的引導(dǎo)槽。
7.如權(quán)利要求6所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于所述引導(dǎo)架包括支架及樞 接于所述支架上的上導(dǎo)向輪及下導(dǎo)向輪，所述上導(dǎo)向輪與所述下導(dǎo)向輪之間形成所述引導(dǎo) 槽。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種平移式基板清洗裝置，其驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座，固定座的上底板與下底板之間形成安裝區(qū)，往復(fù)座滑動(dòng)地安裝于下底板上，電機(jī)安裝于上底板上并位于安裝區(qū)內(nèi)，偏心輪連接于電機(jī)與往復(fù)座之間并平行于上底板及下底板；清洗機(jī)構(gòu)包括固定架、輸入總管及等間距安裝于固定架上的若干管道組，管道組分別與輸入總管連通且設(shè)置有朝向基板的噴嘴，固定架與往復(fù)座固定連接且懸置于基板上方。清洗時(shí)，電機(jī)通過(guò)偏心輪帶動(dòng)往復(fù)座往復(fù)運(yùn)動(dòng)，往復(fù)座帶動(dòng)固定架往復(fù)運(yùn)動(dòng)，清洗液通過(guò)噴嘴均勻充分地噴灑在基板上，可對(duì)直線運(yùn)動(dòng)中的基板進(jìn)行不間斷地清洗，提高清洗效率，具有較高的清潔度及自動(dòng)化程度，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。
文檔編號(hào)B08B11/04GK101954358SQ20101017112
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月6日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 王銀果, 范繼良 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司